NASFA

迅速かつ正確に欠陥箇所を特定できる“国産CADナビゲーションシステム“が誕生致しました。

特長

  • LSI故障解析用観察・リペア装置と設計CADデータとのステージ連動
  • SEM/SIM像と設計CADデータとの重ね合わせ表示(オーバレイ表示)
  • 日立ハイテクノロジーズ社製解析装置専用CAD ナビゲーションシステム
  • GDSIIストリームデータのみで動作
  • 大規模な設計CADデータを高速表示
  • SEM/SIM画面とのリンクが強力
    • アライメント作業が容易
    • 下層配線部の加工が容易
    • プローブ位置の確認が容易
  • 装置間の故障候補位置の受渡しが可能

ステージ・表示倍率の連動

ステージ・表示倍率の連動

オーバレイ実行イメージ

オーバレイ実行イメージ

ウエハマップ(オプション)実行イメージ

ウエハマップ(オプション)実行イメージ

機能

  • 設計CADデータとステージ・表示倍率の連動
  • SEM/SIM像と設計CADデータのオーバレイ
  • データロケータ機能(故障候補座標の登録)
  • 等電位ノード(配線)トレース機能
  • フェイルビットマップ、ウェハマップ(KLAResult フォーマット対応)等、豊富なオプション機能を搭載

システム構成

  • NB5000 (日立集束イオン/電子ビーム加工観察装置 nanoDUE'T®)
  • N-6000、NE4000 (日立微小デバイス特性評価装置 ナノ・プローバ® 、nanoEBAC®)
  • FB-2100、FB2200 (日立集束イオンビーム加工観察装置)
  • S-4700、S-4800 (日立高分解能電界放出形走査電子顕微鏡)

※ NB5000(nanoDUE'T®)、N-6000、NE4000(ナノ・プローバR 、nanoEBAC®)、FB-2100、FB2200、S-4700、 S-4800は日立ハイテクノロジーズ社の製品です。
※ 本カタログ記載の内容は、改良等の為、予告なしに変更される事があります。
※ 本カタログ中の会社名・製品名等は、各社の商標または登録商標です。

システム構成